石墨舟承载车
产品描述：
石墨舟承载车机的详细信息
主要特点
◇ 能准确的把石墨舟从PECVD中取出来。
◇ 能平稳的把石墨舟在小车上旋转180度，倾斜翻转，确保简易方便的装硅片。
◇ 承载装片车能够与PECVD准确的定位。
参 数 采用不锈钢和铝型材；采用可调式油压缓冲器，减少冲击，定位平稳。
产品提示：
全自动硅片旋转冲洗甩干机, 全自动预冲洗脱胶机, 砂浆搅拌桶, 插片机, 硅片盒, 全自动硅片清洗机, 装框机, 石墨舟装片房, 石墨舟冷却房, 石墨舟承载车, 石墨舟清洗机, 石英管清洗机, 全自动升降式PECVD碳板输送线, 单晶石英坩埚